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LASAIR II 110 粒子计数器
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LASAIR II 110 粒子计数器

Lasair® II-110是第一款1.0 CFM流量的激光二极管粒子计数器,能够监测0.1µm粒子。这款计数器的功能非常全面,监测精准度极高,性能稳定,使用成本低,使用寿命长,并带有3年的激光部件保修。

好处

 降低缺陷率

 实时监测导致制程缺陷的粒子变化

 使用移动式计数器定位粒子污染源

 排除多管采样的常见漏计错误

 附件配备齐全,适用于多种应用

 0.1µm粒子监测效率高于传统2021欧洲杯分组

 提高生产效率

 存储/导出采样方案,节省洁净室认证时间

 通过办公室电脑和网络浏览器控制洁净室监测:设置、采样、显示、打印、下载数据、上传采样方案等

 噪音极小,有利于改善工作环境

 可选择9种语言显示和打印

 符合ISOFS或英国标准的计算统计和报告

 Facility Net软件整合,用于全面数据管理

 高速下载数据至ExcelPDAUSB存储器

 成本低

 使用同一台粒子计数器进行ISO Class 1 - 9应用

 无需频繁清洗激光部件

 泵的使用寿命长,无需每年更换叶片

 容易清洗擦拭,设计有利于将粒子截留减至最少

 符合ESA/ESD标准的KYDEX®机壳,非常结实,抗化学腐蚀。

 低温激光二级管使用寿命更长;激光部件保修3

应用

 洁净室监测

 高灵敏度应用

 满足ISOFS或英国标准的设施认证

 微环境认证

 故障诊断/移动式应用

 多管采样(使用AM II型多点采样2021欧洲杯分组)

 监测高压气体(使用高压扩散器)

 超洁净区监测(ISO 1-2

选择气体悬浮物粒子监测仪 (360.5 KB)

粒子监测基本指导 (8.4 MB)

获得2005年度 Semiconductor International Editor's Choice Award 奖项。

本款粒子计数器经CE认证

美国专利和应用:美国4798465; 日本2786187; 德国3712665C2; 美国6167107; 日本3559782; 德国60005581.3; 美国6859277; 其它国家专利正在申请之中。

LASAIR II 110 粒子计数器

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